干凈的概念?按照國際慣例,無塵凈化水平主要是根據每立方米空氣中直徑大于分類標準的顆粒物數(shù)量來定義的??刂圃谝粋€非常小的單元中。與我們常見的灰塵相比,該標準中的灰塵顆粒非常小,但即使是一點點灰塵也會對光學結構產生非常大的負面影響,所以無塵是光學結構產品生產的必然要求。如果每立方米小于0.5微米的塵粒數(shù)控制在3500個以下,就達到了國際無塵標準的A級。目前應用于芯片級生產加工的無塵標準對粉塵的要求比A級更高,這樣的高標準主要用于一些更高級別的芯片生產。細粉塵量嚴格控制在每立方米1000個以內,也就是業(yè)內俗稱的1K級別。
無塵車間是指在一定空間范圍內消除空氣中的顆粒物、有害空氣、細菌等污染物,將室內溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度及分布、噪聲、振動、照明、靜電等控制在一定需求范圍內的專門設計的房間。