成都凈化承諾:我公司新建的凈化車間工程完工后,我公司專業(yè)技術(shù)工程師將對相關(guān)人員進行凈化空調(diào)如何開啟、多久更換一次空氣過濾器的培訓(xùn),并制定出一套無塵車間的設(shè)備開啟和維護方案。
一、進入凈化車間的準(zhǔn)備工作;
1.進入凈化車間前,必須經(jīng)過凈化工程公司的專業(yè)培訓(xùn)。
2.進入凈化車間嚴(yán)禁吸煙、吃(喝)東西、吃東西,外來雜物(如報紙、雜志、鉛筆等。)不準(zhǔn)帶入,嚴(yán)禁嬉戲奔跑和同學(xué)聚會聊天。
3.進入潔凈室前,在指定地點脫鞋,鞋子放在鞋柜里,外套放在衣柜里,個人物品放在私柜里,柜子里不要放食物。
4.進入潔凈室前,必須先在更衣室按規(guī)定和程序戴好口罩、無塵帽、無塵衣、鞋套,然后在空氣潔凈室洗去灰塵,踩上除塵地毯(潔凈室地板上)后才能進入。
5.戴口罩時,口罩要戴在鼻子上,蓋住嘴和鼻孔,以免呼吸時污染芯片。
6.穿干凈衣服時,要先整理好衣服和頭發(fā),再戴干凈帽子,以免穿干凈衣服后感到不舒服。
7.梳洗完畢,先戴上無塵帽。無塵帽的佩戴原則是:(1)頭發(fā)必須完全覆蓋在帽內(nèi),不能外露。(2)無塵帽的下擺要均勻的鋪在肩膀上。穿上工作服后,下擺不會掉出來,露出肩膀和脖子。
8.戴好無塵帽后,穿上無塵服。無塵服要大小合適,避免褲腿或短袖暴露皮膚的風(fēng)險。穿衣時注意保持帽檐平整,無塵服不可反穿。
9.凈網(wǎng)-] R10W3360W9 * 42BV9。穿上干凈的衣服后,套上鞋套,拉起鞋套,把鞋套放平,真正蓋住褲腿。
10.戴手套時,應(yīng)避免徒手接觸手套的手掌和指尖(防止鈉離子污染)。戴上手套后,要把手套的手腕套在袖子里,隔離污染源。
11.干凈的衣服穿戴妥當(dāng)后,洗去灰塵,踩上防塵毯,才能進入潔凈室。
12.無論進出潔凈室,都要按規(guī)定在更衣室脫干凈衣服,在其他區(qū)域不能脫,尤其是在潔凈室行走時。
13.無塵衣物、鞋套等。應(yīng)該定期清洗。如果損壞,應(yīng)在離線時立即更換。
14.脫干凈衣服時,順序與穿衣服時相反。
15.脫下無塵服,掛在更衣室上層柜子里;鞋套要放在懸掛的無塵服下面。
16.更衣室內(nèi),除干凈衣服等指定物品外,不得放置其他物品。
17.除規(guī)定的紙張和物品外,其他物品不得帶入潔凈室。
18.無塵衣物等。不得從潔凈室中取出,并在使用后放置在指定的地方。
19.口罩和手套可根據(jù)情況自行保留或重復(fù)使用。
20.任何進入潔凈室的東西都必須用清潔劑擦拭干凈。
21.任何設(shè)備進入請通知經(jīng)理,進入前在潔凈室外擦拭干凈。
22.檢驗不合格的儀器禁止使用。在緊急情況下,可以按照緊急處理步驟進行適當(dāng)?shù)奶幚?,例如關(guān)閉水、電、氣的開關(guān)。
23.千萬不要在潔凈室用火,以免發(fā)生意外。
二、潔凈室操作說明
1、處理芯片時,必須戴無纖維手套,使用清潔的鑷子夾住芯片,不要用手指或其他任何東西接觸芯片。被觸摸和污染的芯片必須清洗干凈后才能再次使用:(1)如果任何鑷子的前端(即夾持芯片的那一端)被觸摸,或者鑷子掉到地上,都必須清洗干凈。不要用紙巾或布擦拭臟鑷子。
(2)如果在清洗后和下一個程序之前用手指觸摸芯片,必須再次清洗。
(3)當(dāng)芯片放在應(yīng)時舟上準(zhǔn)備放入爐管時,如果發(fā)現(xiàn)所用的鑷子污損或芯片上有明顯的鑷子污染,必須再次清洗芯片,并立即更換干凈的鑷子。
2、芯片一定要放在盒子里,蓋好,存放在指定的位置,盡量不要暴露。
3、避免對著芯片說話,防止口水濺到芯片上。在芯片進入擴散爐之前,請?zhí)貏e注意防止上述動作。如果芯片沾有纖維屑,用氮氣槍噴。
4、從聚四氟乙烯晶舟、應(yīng)時晶舟等載體上取出芯片時。時,芯片必須垂直舉起,以免刮傷芯片。只有當(dāng)顯微鏡鏡頭遠(yuǎn)離芯片時,才能將芯片從吸座中取出。
5、如果芯片上生長了氧化層,在將芯片送到黃燈室之前,不要用金剛石刀在芯片上雕刻。
6、操作時,無論是否戴手套,絕對不能將手放入洗滌槽中。
7、當(dāng)使用化學(xué)工作站或烤箱處理芯片時,請確保將芯片放在特氟隆水晶舟內(nèi),不要使用塑料盒。
8、將芯片放在應(yīng)時舟上時,如果芯片掉到地上或手上,必須再次清洗,然后放入氧化爐中。
9、請不要觸摸芯片盒的內(nèi)部。如果被碰過或被碎屑污染,必須再次清洗。
10、手套、廢紙和其他雜物不應(yīng)留在控制臺內(nèi)。如果手套燒焦、磨損或纖維質(zhì)量改變,必須更換。
11、在沒有說明的情況下,切勿打開不熟悉的儀器和各種開關(guān)閥控制旋鈕或手柄。
12、如發(fā)現(xiàn)溶液有異味或異常反應(yīng)、顏色、聲音等,請立即通知相關(guān)人員。
13、當(dāng)儀器因操作失誤而損壞時,務(wù)必立即通知負(fù)責(zé)人或老師。
14、芯片箱進出潔凈室必須保持清潔,并用保鮮膜密封,違者不得入內(nèi)。
15、所有潔凈室應(yīng)使用圓珠筆和干凈的筆記本做記錄,一般紙張和鉛筆不得帶入。
三、黃燈區(qū)域1的操作說明。濕度和溫度會影響校準(zhǔn)工作。注意黃燈區(qū)域的溫度和濕度,減少對準(zhǔn)機附近的人數(shù),減少濕度和溫度的變化。2.光刻膠未曝光的芯片不要出黃光區(qū),以免感光。3.光刻膠已經(jīng)裝好,等待對準(zhǔn)曝光的芯片要放在不透明的藍黑色水晶盒里,盒蓋一定要蓋好。4.使用面膜時,應(yīng)取邊緣,不可觸摸面膜表面。在任何情況下,口罩的鉻膜都不能與其他物體接觸,以防劃傷,口罩的灰塵可以用氮氣槍吹掉。5.曝光時避免眼睛直視曝光機的汞燈。鑷子使用說明1。進入實驗室后,取鑷子前要戴上手套,以免污染。2.僅僅有使用干凈的鑷子,才可持取芯片,鑷子一旦掉在地上或被手觸碰,或因其它原因而遭污染,必須拿去清洗,方可再使用。
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