關于如何開啟潔凈空調、多久更換一次空氣過濾器等一系列工作，鴻潔源潔凈為潔凈車間制定了一套設備開啟和維護計劃。

一、步入無塵車間的準備工作；

1.進入潔凈車間前，必須經(jīng)過凈化工程公司的專業(yè)培訓。

2.進入潔凈車間嚴禁吸煙、吃(喝)東西和吃東西。外來雜物(如報紙、雜志、鉛筆等。)不準帶入，嚴禁亂跑，互相聊天。

3.進入潔凈室前，在指定地點脫鞋，鞋子放在鞋柜里，外套放在衣柜里，個人物品放在私柜里，柜子里不要放食物。

4.進入潔凈室前，必須先在更衣室按規(guī)定和程序戴好口罩、無塵帽、無塵衣、鞋套，然后在空氣潔凈室洗去灰塵，踩上除塵地毯(潔凈室地板上)后才能進入。

5.戴口罩時，口罩要戴在鼻子上，蓋住嘴和鼻孔，以免呼吸時污染芯片。

6.穿干凈衣服時，要先整理好衣服和頭發(fā)，再戴干凈帽子，以免穿干凈衣服后感到不舒服。

7.梳洗完畢，先戴上無塵帽。無塵帽的佩戴原則是：

(1)頭發(fā)必須完全覆蓋在帽內，不能外露。(2)無塵帽的下擺要均勻的鋪在肩膀上。穿上工作服后，下擺不會掉出來，露出肩膀和脖子。

8.戴好無塵帽后，穿上無塵服。無塵服要大小合適，避免褲腿或短袖暴露皮膚的風險。穿衣時注意保持帽檐平整，無塵服不可反穿。凈網(wǎng)-] R10W3360W9 * 42BV9。

9.穿上干凈的衣服后，套上鞋套，拉起鞋套，把鞋套放平，真正蓋住褲腿。

10.戴手套時，應避免徒手接觸手套的手掌和指尖(防止鈉離子污染)。戴上手套后，要把手套的手腕套在袖子里，隔離污染源。

11.干凈的衣服穿戴妥當后，洗去灰塵，踩上防塵毯，才能進入潔凈室。

12.無論進出潔凈室，都要按規(guī)定在更衣室脫干凈衣服，在其他區(qū)域不能脫，尤其是在潔凈室行走時。

13.無塵衣物、鞋套等。應該定期清洗。如果損壞，應在離線時立即更換。

14.脫干凈衣服時，順序與穿衣服時相反。

15.脫下無塵服，掛在更衣室上層柜子里；鞋套要放在懸掛的無塵服下面。

16.更衣室內，除干凈衣服等指定物品外，不得放置其他物品。

17.除規(guī)定的紙張和物品外，其他物品不得帶入潔凈室。

18.無塵衣物等。不得從潔凈室中取出，并在使用后放置在指定的地方。

19.口罩和手套可根據(jù)情況自行保留或重復使用。

20.任何進入潔凈室的東西都必須用清潔劑擦拭干凈。

21.任何設備進入請通知經(jīng)理，進入前在潔凈室外擦拭干凈。

22.檢驗不合格的儀器禁止使用。在緊急情況下，可以按照緊急處理步驟進行適當?shù)奶幚?，例如關閉水、電、氣的開關。

23.千萬不要在潔凈室用火，以免發(fā)生意外。

二、潔凈室操作說明：

1、處理芯片時，必須戴無纖維手套，使用清潔的鑷子夾住芯片，不要用手指或其他任何東西接觸芯片。被觸摸和污染的芯片必須清洗干凈后才能再次使用：

(1)如果任何鑷子的前端(即夾持芯片的那一端)被觸摸，或者鑷子掉到地上，都必須清洗干凈。不要用紙巾或布擦拭臟鑷子。

(2)如果在清洗后和下一個程序之前用手指觸摸芯片，必須再次清洗。

(3)當芯片放在應時舟上準備放入爐管時，如果發(fā)現(xiàn)所用的鑷子污損或芯片上有明顯的鑷子污染，必須再次清洗芯片，并立即更換干凈的鑷子。

2.芯片一定要放在盒子里，蓋好，存放在指定的位置，盡量不要暴露。

3.避免對著芯片說話，防止口水濺到芯片上。在芯片進入擴散爐之前，請?zhí)貏e注意防止上述動作。如果芯片沾有纖維屑，用氮氣槍噴。

4.從聚四氟乙烯晶舟、應時晶舟等載體上取出芯片時。時，芯片必須垂直舉起，以免刮傷芯片。只有當顯微鏡鏡頭遠離芯片時，才能將芯片從吸座中取出。

5.如果芯片上生長了氧化層，在將芯片送到黃燈室之前，不要用金剛石刀在芯片上雕刻。

6.操作時，無論是否戴手套，絕對不能將手放入洗滌槽中。

7.當使用化學工作站或烤箱處理芯片時，請確保將芯片放在特氟隆水晶舟內，不要使用塑料盒。

8.將芯片放在應時舟上時，如果芯片掉到地上或手上，必須再次清洗，然后放入氧化爐中。

9.請不要觸摸芯片盒的內部。如果被碰過或被碎屑污染，必須再次清洗。

10.手套、廢紙和其他雜物不應留在控制臺內。如果手套燒焦、磨損或纖維質量改變，必須更換。

11.在沒有說明的情況下，切勿打開不熟悉的儀器和各種開關閥控制旋鈕或手柄。

12.如發(fā)現(xiàn)溶液有異味或異常反應、顏色、聲音等，請立即通知相關人員。

13.當儀器因操作失誤而損壞時，務必立即通知負責人或老師。

14.芯片箱進出潔凈室必須保持清潔，并用保鮮膜密封，違者不得入內。

15.所有潔凈室應使用圓珠筆和干凈的筆記本做記錄，一般紙張和鉛筆不得帶入。

三、黃燈區(qū)域1的操作說明：

1.濕度和溫度會影響校準工作。注意黃燈區(qū)域的溫度和濕度，減少對準機附近的人數(shù)，減少濕度和溫度的變化。

2.光刻膠未曝光的芯片不要出黃光區(qū)，以免感光。

3.光刻膠已經(jīng)裝好，等待對準曝光的芯片要放在不透明的藍黑色水晶盒里，盒蓋一定要蓋好。

4.使用面膜時，應取邊緣，不可觸摸面膜表面。在任何情況下，口罩的鉻膜都不能與其他物體接觸，以防劃傷，口罩的灰塵可以用氮氣槍吹掉。

5.曝光時避免眼睛直視曝光機的汞燈。

鑷子使用說明：1.進入實驗室后，取鑷子前要戴上手套，以免污染。

2.只有干凈的鑷子才能用來夾住芯片。一旦鑷子掉在地上或者被手碰到，或者因為其他原因被污染必須拿去清洗，方可再使用。

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