潔凈車間的主要目的是控制產(chǎn)品(如硅片等)所處環(huán)境的潔凈度、溫度和濕度。)都是暴露在外的,使產(chǎn)品能夠在一個(gè)良好的環(huán)境空間內(nèi)生產(chǎn)制造,我們稱之為凈化車間。按照國(guó)際慣例,無(wú)塵凈化水平主要是根據(jù)每立方米空氣中直徑大于分類標(biāo)準(zhǔn)的顆粒物數(shù)量來(lái)定義的。
控制內(nèi)容包括:防止塵粒的產(chǎn)生;控制溫度和濕度;壓力的調(diào)整;消除有害氣體;結(jié)構(gòu)和艙室的氣密性;防止靜電產(chǎn)生;照明調(diào)節(jié)等。
使用分類
工業(yè)潔凈車間
主要控制空氣塵粒對(duì)工作對(duì)象的污染,內(nèi)部一般保持正壓。適用于精密機(jī)械行業(yè)和電子行業(yè)(半導(dǎo)體、集成電路等。
生物潔凈車間
主要控制微生物(細(xì)菌)物的污染。同時(shí),其內(nèi)部材料應(yīng)能承受各種滅菌劑的侵蝕,內(nèi)部壓力一般有保證。如食品和化妝品行業(yè)。